ATOS伺服閥的污染物的主要來源包括元件加工或裝配過程中出現的未清除干凈而殘留的金屬切屑、焊渣、塵埃、銹蝕物和清洗劑等等，另外元件磨損出現的磨粒、油液氧化分解后產生的有害物質都會對人體造成傷害。
 

　　工作液體污染對伺服閥的影響較大，比如：污染會加劇元件的磨損導致伺服閥元件出現性能衰降，顆粒物的堵塞和淤積造成元件可能會發生突發性故障，伺服閥污染也會加速工作液的性能降低速度。
 

　　拆卸：由于大多是由螺栓連接的，所以在清理的時候大家可以將其拆卸后進行*清理。不過在拆卸的時候一定要掌握伺服閥的結構和各個零部件的連接方式以及具體的安裝位置。
 

　　清理：觀察閥體以及閥芯的積塵程度，而且在不損傷設備性能的情況下使用軟毛刷或刮板進里面的污垢清理掉。
 

　　粗洗：清洗的時候通常先將閥芯與閥體進行加熱浸泡，然后利用壓縮空氣產生的氣泡將里面殘留的污物清理掉。
 

　　精洗：清洗的精洗就是利用清洗液進行高壓定位清洗并以熱風進行干燥。
 

　　組裝：清洗過后要按照原有的順序以及位置將拆卸的零部件組裝回去，而且在這一過程中要避免零部件的損傷。
 

　　安裝ATOS伺服閥時出現的故障：
 

　　1、油動機拒動
 

　　在機組啟動前做閥門傳動試驗時，有時出現個別油動機不動的現象，在排除控制信號故障的前提下，造成上述現象的主要原因是卡澀。盡管在機組啟動前已進行油循環且油質化驗也合格，但由于系統中的各個死角是未知不可能*循環沖洗，所以一些顆粒可能在設備動作過程中卡澀。
 

　　2、汽門突然失控
 

　　在機組運行過程中，有時在控制指令不變的情況下，汽門突然全開或全關，造成上述現象的主要原因是堵塞。主要是油中的臟物堵塞的噴嘴擋板處，造成突然向一個方向動作，導致油動機向一個方向運動到極限未知，使汽門失去控制。
 

　　3、氣門擺動
 

　　氣門擺動是較常見的故障現象，在排除控制信號故障的前提下，工作不穩定是主要原因。內漏大，分辨率大和零區不穩定，均可能引起電調系統的擺動。分辨率增大，是不能很快響應控制系統的指令，容易引起系統的超調，導致系統在一定范圍內不停調整，造成氣門擺動。閥口磨損，不但引起泄露增大，而且會引起零區不穩定，使長期處于調整狀態，嚴重時會引起氣門擺動。
 

　　4、油動機遲緩率大
 

　　造成此現象的原因很多，流量增益低，壓力增益低以及濾芯堵塞引起分辨率過大等，都可能增大油動機遲緩率。解決辦法是嚴格控制燃燒油質，定期檢查。
 

　　5、油動機關不到位
 

　　在控制信號和機械部分沒有問題的前提下，造成油動機關不到位的主要原因為ATOS伺服閥的零偏不對。